二手 NIKON S 207 #293660439 待售

NIKON S 207晶片步進器是一種全自動和高端晶片步進器，結合了高精度的對準能力和高通量和晶片到晶片的叠加精度。它是一種完全可編程的設備，具有一系列模塊，可用於步進過程，包括PEB、LPCVD、EPI和其他串聯技術。該系統具有10.7 nm x 10.8 nm的大曝光場、0.75的高數值孔徑（NA）和300幀/秒的高步進速度。步進器有兩個曝光頭，每個曝光頭都有一個獨立的光學單元，可配置用於不同的曝光和晶圓類型。可以對光學參數進行編程，以優化成像機在不同數值孔徑、景深、放大倍率和光刻圖案尺寸下的曝光。該工具的對齊資產包括自動對齊光學器件、大視野和亞納米分辨率,以實現關鍵層的精確和可重復對齊。該模型還采用了集成激光輔助晶片對準設備，具有極高的精度。NIKON S207 Wafer Stepper有一個全面的圖像處理系統，用於先進的光刻特性，如小圖樣縫合、失真補償、分色和高Q成像。對於高吞吐量,該設備每秒最多可進行3次曝光。它支持在曝光頭之間充分交換曝光場，從而實現高冗余和使用昂貴的晶片。S 207 Wafer Stepper還具有廣泛的陣列庫,可輕松設置陣列參數,為用戶提供最大的模式控制。用戶友好的界面易於使用，允許管理不同的層和晶圓定義。該機符合ETTO標準,滿足最嚴格的光刻工藝要求。S207晶片步進器提供了精密光刻、成像和晶片質量控制方面最全面的系統之一。其廣闊的曝光領域、快速的速度和高質量的分辨率使其成為生產復雜3D顯示器、醫療設備、半導體等先進應用的理想解決方案。