二手 NIKON S205 #293606201 待售

NIKON S205是一種用於光刻應用的下一代、經濟高效、步進重復模式發生器,為用戶提供完整的2D模式處理系統管理。NIKON S 205是同級中性能最高的晶圓步進器之一。它采用先進的光學設計,可顯著減少從邊緣到邊緣的失真,並允許構成更廣泛的陣列。其高度集成的光掩模處理系統支持更薄的抗蝕劑，可提高產量和更好的吞吐量。其先進的對齊和計量能力允許較低的叠加不準確性，較少的層次調整和更快的處理。S205旨在提高生產過程中的速度、吞吐量和生產率,同時降低成本並提供更高的分辨率。其全機動化、四軸晶片級，加上高速模式發生器和8000位自動換模器，幫助S 205減少了換模、對準、曝光所需的時間。這臺高精度機器能夠處理高達12.5微米的線性和圓形圖案，精度高達2納米。NIKON S205具有一系列可提供準確性和可重復性的集成功能,例如一個獨特的穩定功能,可最大程度地減少熱漂移量,以及一個高密度的6軸運動學機器人,可容納80個位置和最多4軸旋轉運動。NIKON S 205還配備了多種可選組件，如用於優化暗室空間效率的集成暗室，以及用於在曝光和對準步驟之間快速交換光學元件的自動鏡頭交換系統。S205適用於各種半圖標和其他行業,例如LED和EPI,以及MEMS和微型設備。它旨在滿足當今最具挑戰性的速度和精度要求,同時為客戶提供低擁有成本。S 205提供了先進技術和可靠性的理想組合,使用戶能夠獲得最佳的輸出和產量。