二手 ULTRATECH 1100 #158786 待售

ULTRATECH 1100 Wafer Stepper是一種高性能光刻設備，用於半導體制造和高級研究應用。該系統用於利用強烈紫外線在矽片和其他基板上創建高分辨率圖像。1100配備了先進的陣列和曝光技術，提供了卓越的圖像分辨率和卓越的對準精度，同時也產生了一致的結果，無論傳統步進限制。ULTRATECH 1100中的主要部件包括機械掃描級、光源、掩模（標線）和檢測器。掃描階段旨在最大程度地提高曝光精度和吞吐量。此外,先進的對齊單元使機器能夠在各種復雜的圖案設計中進行精確的曝光。這種步進器的集成光源被設計成產生強烈和一致的紫外線定義光，同時還提供優越的圖像曝光，以確保卓越的圖像分辨率。集成的高性能微對齊器能夠準確曝光最復雜的掩模設計。該探測器的設計目的是提供用於檢查、晶片對晶片的曝光控制和驗證以及實時步進性能監測和分析的曝光數據。1100 Wafer Stepper還配備了一系列選件，包括擴展對準功能和自動噴嘴對準，兩者都提供了更高的吞吐量和曝光精度。該工具具有高度模塊化的體系結構，能夠處理不同的晶圓尺寸和應用，包括200毫米、300毫米和450毫米晶圓。這一先進的光刻資產旨在提供卓越的加工性能和精確度，並能夠集成到一個全面的生產環境中。它旨在降低基板成本和提高吞吐量，同時提供卓越的圖像分辨率、卓越的極化控制和卓越的圖像缺陷控制。ULTRATECH 1100 Wafer Stepper還提供了直觀的視覺界面，方便地訪問流程數據和進行更改。該模型還設計為與各種計量和檢驗系統兼容。該設備得到ULTRATECH響應客戶服務的支持,允許用戶快速解決可能出現的任何問題。