二手 ULTRATECH 1100 #9151421 待售

ULTRATECH 1100晶圓步進器是一種全自動且高度精密的機器，用於在微光刻工業中將納米晶圓轉移到半導體晶圓上。這種步進器利用深紫外線激光器在基板表面產生一系列微觀圖樣。設備由掃描儀和端站兩個主要部分組成。1100掃描儀包括三個不同的階段：投影鏡頭、圖像記錄階段和下拉緩減階段。投影透鏡將來自高強度深紫外線激光的聚焦光束引導到位於圖像記錄階段的掩模上。這會將設備模式重新創建到記錄階段,然後以同步方式自動移動到下拉緩解階段。該步進器具有在248nm波長下工作的優點，圖像分辨率高達0.25微米。由於使用了深紫外線激光器，ULTRATECH 1100能夠將納米尺度模式轉移到長寬比為20：1的結構中。系統的激光脈沖長度也是可調的，從8到32微秒不等，取決於所需的圖案大小。此外,1100還有一個過程控制層,可自動執行機器設置過程。此功能消除了手動掩碼對齊的需要,並允許在整個運行過程中使用一致的進程參數。ULTRATECH 1100晶圓步進器配備了最先進的光學器件，在整個機器使用壽命中保持高光學性能。此外，該裝置有一個內置的安全機器，檢測任何潛在的故障，並自動補償它們，以確保可靠的操作。1100是一種多合一晶片步進器，利用深紫外線激光源和先進的光學器件將納米級圖樣精確轉移到半導體晶片上。此工具的全自動操作允許一致的過程參數,而其安全資產可確保可靠的操作。ULTRATECH 1100憑借其先進的特點和無與倫比的精確度，是微光刻行業的理想選擇。