二手 ULTRATECH 1500 MVS #9266754 待售

ULTRATECH 1500 MVS是一種先進的晶圓步進器，設計用於生產半導體器件的精密光刻。它是UltraStepper系列產品的一部分,這些產品經過專門設計,可降低成本並提高吞吐量,同時保持最高的準確性和質量。該設備采用5軸電動掃描級和高精度編碼器來測量和調整每個級的位置。1500 MVS具有處理高達156mm的玻璃基板、高達4"的溶劑和耐熱口罩以及高達1500 mm/s的掃描速度的能力。晶片步進器還利用先進的運動反饋控制系統，在X軸和Y軸上精確對準級和對準曝光區域。ULTRATECH 1500 MVS還配備了兩軸光學單元，能夠在曝光前對掩模和基板進行精確的光學對準。這臺機器還利用先進的成像算法來監測和調整曝光時舞臺的運動。1500 MVS提供了廣泛的曝光模式,並具有「智能」邊緣拼貼工具,可實現多級模式。該資產還包括一個可編程掃描模式生成器，並支持各級分辨率。該模型能夠進行單曝光和多曝光,可產生0.1 um的圖樣精度和0.001 um的邊緣放置精度。該設備最多可存儲六種食譜,非常適合大容量環境。ULTRATECH 1500 MVS旨在最大限度地減少移動元件之間的接觸，從而提高穩定性並延長其使用壽命。此外,晶圓步進器具有堅固的結構設計,可在工業環境中可靠運行。ULTRATECH還提供了廣泛的配件和消耗品，以確保機器的最佳性能。1500 MVS具有增強的步進控制單元、溫度和濕度控制、串聯粒子監測和自動提交作業等特點，是尋求產生高質量晶片圖樣的人的理想工具。