二手 ULTRATECH 1500 #9019700 待售

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製造商
ULTRATECH
模型
1500
ID: 9019700
晶圓大小: 5"
Stepper, 5" Lens specification: 1.25 um WAS System Autoloader, 5" Standard lens No MVS.
ULTRATECH 1500是一種晶圓步進器,旨在幫助滿足半導體制造的嚴格設備放置需求。步進器使用先進的電子束(e-beam)光刻工具,以快速的吞吐率提供高對準精度和重復性。該設備具有高加速度的直線電機級,在保持高分辨率和可重復精度的同時,實現了較短的掃描時間。1500還利用ULTRATECH專有的Saber™對齊系統確保精確的x-y對齊,同時滿足具有挑戰性的吞吐量要求。ULTRATECH 1500具有分辨率為1-2 nm、磁場大小為450 mm x 450 mm的M4K電子束柱。這種單一的電子束柱能夠持續產生40 nm及以下的光刻結構。為了進一步提高吞吐量和縮短周轉時間,步進器還提供了一個自校準單元。此機器將自動校準M4K的電子束列,並在每次曝光前執行「調整」操作。1500采用了完全集成的閉環晶片處理工具,該工具集成了無傳感器對齊、虛擬對齊和聚焦測量,以實現較高的放置精度和吞吐量。通過使用專有的嵌入式對齊工具,步進器可以將晶片自對齊到已知的參考,從而消除了可以降低吞吐量的手動對齊過程。閉環資產還有助於在線對焦校正、自動晶圓對準和低成本掩碼更改。ULTRATECH 1500具有高度可配置性,它提供了多種選項來定制其性能以滿足獨特的生產需求。所提供的選項包括雙電子束柱、超大型場選項以及SubSaber™子采樣和對齊。還提供了增強性能平臺(EPP),使用戶能夠減少掃描時間並提高分辨率和準確性。除了其功能外,1500還具有很高的可靠性和魯棒性,可提供可靠的吞吐量質量結果。該模型的自動校準確保了可重復的性能,並且平臺的主動安全功能有助於保護敏感數據。步進器還可以得到ULTRATECH軟件和硬件選項庫的補充,從而使設備能夠針對廣泛的應用需求進行定制。ULTRATECH 1500是一款多功能步進器,可以幫助半導體制造商比以往更快、更可靠地實現精確的器件放置要求。系統的高加速度線性電動機級提高了放置精度和吞吐量,而其專有的Saber™對齊單元以及SubSaber™的子采樣和對齊功能有助於減少手動過程。該機器還擁有一系列性能增強選項,使其極易定制。最後,步進器的自動校準、自對準和串聯對焦校正功能使制造商放心,每次都會準確放置其設備。
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