二手 ULTRATECH Saturn AP 300 #9163161 待售

ULTRATECH Saturn AP 300晶圓步進器專為半導體工業中先進的光刻應用而設計，特別適合於高容量的應用和快速的器件處理。AP 300能夠處理直徑達300毫米的晶片，並配備了專利反流成像設備，無論基材尺寸如何，在所有工藝參數中都能產生高水平的均勻性。該系統可達到低至0.25微米的分辨率，為先進的設備編組提供了細線模式。AP 300由雙通S形掃描級和兩個彼此垂直的掃描軸構成，以實現全晶圓覆蓋。這允許精確對齊的模式具有出色的重復性和低失真。該單元還有一個可編程的混合快門，它可以同時掃描晶圓的不同區域，同時有不同的曝光時間，堆棧拍攝，或者排除視野內的獨立位置。此功能提高了吞吐量,使AP 300非常適合光掩碼對齊。除了精密成像能力外，AP 300還設有自動光學對準機。高靈敏度的數字探測器用於快速確定和調整光掩模位置和步進位置,使其精度在9um以內。此功能減少了設置時間,並優化了打印結果。AP 300還具有高度自動化，包括電源故障保護、非晶圓保護、掩模標識表、自動水流監控以及具有卡帶處理能力的機器人裝載機。該工具還附帶了一臺計算機，該計算機具有用戶友好的圖形用戶界面，用於圖像修改、工藝配方、晶圓跟蹤和打印晶圓信息。作為最後一層保護,該產品配備了許多故障安全功能,可在發生災難性資產故障時立即關閉。土星AP 300晶圓步進器是一種先進可靠的高容量工作工具。由於其出色的分辨率、自動化功能和精確的掃描功能,AP 300為設備制造提供了一站式解決方案。AP 300具有全面的功能,是高性能光刻處理的絕佳選擇。