二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #186301 待售

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ID: 186301
晶圓大小: 8"
Wafer dimensional measurement system, 8" High accuracy prealigner Thickness, Flatness, Bow/Warp measurement Manual or cassette load RT VAX 1000 Controller 15" LCD Monitor (1) Station (1) Elevator / cassette Unix version software Single cassette loader Utility: Power: 115/230V, 50~60HZ Vacuum: 25"Hg Operational Manual Can be inspected and demonstrated.
ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage設備是一種晶圓測試和計量系統,旨在為半導體行業提供先進的質量控制和精度。該單元采用光學顯微鏡進行高分辨率成像和特征識別,並具有光譜成像能力來量化機器性能。自動化階段允許對各種類型的晶片進行快速、無損的測量,包括平面和非平面應用。主動照明技術可實現動態照明和無影查看,從而實現準確的特征識別和自動事件檢測。該工具配備了集成的微焦量測量資產,可在4英寸晶圓上提供高達5 µm的精度。它還包含用於靜態、多路復用和重復測量的高分辨率非接觸測量模型。該設備能夠精確測量高長寬比特征和組件。其他功能包括快速對齊和階梯式遍歷的自動化階段、用於重復快速流程驗證的自動掃描系統、用於快速單元評估的動態數據分析以及用於特定應用程序的自定義工作流。UltraGage機器還配備了自動缺陷檢測模塊,可提供有關晶圓質量的快速、可靠數據。此模塊包括一系列專門的算法,這些算法利用人工智能和機器學習技術來檢測、分類和報告缺陷。該工具還能夠對各種裝配類型進行高精度的內聯輪廓映射。這種情況會無縫地實時發生,從而詳細了解各個元件在整個制造過程中的性能。所有這些功能使資產能夠提供高精度、低成本的晶圓測試和計量。該模型也是可配置的,支持幾種高級集成技術,包括在線測量、統計過程控制和機器人界面。這種互操作性為ADE 9500 UltraGage設備提供了高度的靈活性和可擴展性,從而實現了廣泛的高級半導體應用。
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