二手 ADE / KLA / TENCOR 9520 UltraGage #9164709 待售

ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGage是一種晶圓測試和計量設備，為半導體行業提供精確、高質量的測量。它旨在為各種晶圓測試和計量應用提供快速、準確的結果，如模具和特征尺寸、薄膜厚度、塗層和晶圓圖計量。它還能夠自動測量和分析晶圓特性，以獲取統計信息和產生信息。該系統具有一個超精確的測量單元，X-Y級能夠在晶圓的大面積上自動映射輪廓。該級具有直線電動機，2軸定位精度小於1微米，重復性小於25納米。該機還配備了高分辨率CCD相機，以便對晶圓幾何形狀和表面特征進行詳細的可視化。該工具還利用廣闊的視野，確保從不同角度準確讀取，提高測量精度。對於性能測試，使用激光幹涉儀提供前所未有的精度來測試結果。它具有高速測量能力、自適應時鐘和抖動反饋,以提供準確的結果。資產還包括一個集成的微處理器和一個數據采集模型，以便對測量標準和數據采集進行編程。該設備提供易於使用的界面，使用戶能夠快速、輕松地設置和存儲用戶特定參數。最後，該系統包括一個集成的熱室，允許樣品晶片的溫度測試。它還具有一個可編程的模塊化控制器，能夠控制多達四個熱模塊進行同時測試。此功能消除了手動溫度控制的需要,確保了精確的測試結果。憑借其尖端技術和精確的測量能力，ADE 9520 UltraGage是一款功能強大的半導體行業晶圓測試和計量工具。它旨在快速、輕松地提供準確可靠的測試結果,從而能夠快速、準確地生產高質量的產品。