二手 EPIPLUS / ETAMAX Plato #9268807 待售

EPIPLUS/ETAMAX柏拉圖是一種晶圓測試和計量設備，設計用於精確測量薄膜、激光掃描材料的關鍵參數。它將激光輔助測量技術與高分辨率成像相結合，達到晶圓測試的最大精度。該系統有兩種不同的掃描模式：激光掃描和廣域成像。在激光掃描模式下，微調的激光束聚焦在晶圓表面的一小部分上，生成完整而精確的輪廓。這種激光掃描對於檢查非常精細的結構特別有用，如半導體、MEMS元件、小特征或超薄層。廣域成像模式不如激光掃描精確，但它提供了更高的分辨率，能夠精確測量較大的結構，如平板、蝕刻特征和圖案化地形。這種模式使用UV和紅外相機從不同角度捕捉晶圓的高分辨率圖像。ETAMAX柏拉圖單元可用於多種材料類型和基材，包括全晶片、芯片和多層基材。它具有2-100X的放大範圍，並提供各種參數的精確測量，如表面粗糙度、摻雜劑、地形和光譜反射率。該機器還提供高級軟件,包括模式識別、3D成像和高級數據分析功能。軟件可用於生成詳細的分析報告，可用於提高工藝產量。此外,該工具還配備了自動邊緣檢測功能,以消除測量產生的有害噪聲和失真。此外，EPIPLUS柏拉圖還包括一個集成管理資產，允許用戶跟蹤在多個測試晶片上進行的測試結果。因此，隨著時間的推移，可以很容易地監測和改進質量控制過程。總體而言，柏拉圖是一個強大的晶圓測試和計量模型，旨在為各種材料和基材提供準確和精確的測量。它提供了先進的軟件和一系列功能，可用於提高工藝產量和質量控制。