二手 EPIPLUS / ETAMAX Plato #9268808 待售

EPIPLUS/ETAMAX柏拉圖是一種先進的半導體制造晶圓測試和計量設備。該系統提供包括深度、角度、平坦度等在內的器件參數的高精度測量；它還具有集成的組件,例如用於快速晶圓傳輸的處理程序和用於自動檢查的視覺單元。ETAMAX柏拉圖是一種全自動晶片測試和計量機器，能夠測試200毫米至100毫米範圍廣泛的晶片和零件尺寸。它具有用於晶圓傳輸和對齊的自動處理程序模塊,以及用於自動檢查的視覺工具。處理程序能夠單獨或以堆棧的形式從彈匣中裝載和卸載多達十個200毫米晶圓,並且可以運輸和對齊它們。視覺資產用於在測試前檢查晶片的缺陷和其他標準。除了自動化元件外，EPIPLUS柏拉圖還包括用於測量設備參數的ETAMAX計量模型。設備使用高精度采樣幹涉儀（SIs）來測量準確的器件參數。EPIPLUS系統在測量晶圓深度、角度、平坦度等參數時允許更高的精度。柏拉圖是一個高效的晶圓測試和計量單元.它靈活易用，使制造商能夠快速準確地測量設備參數。該機也極為可靠，提供精確一致的結果。總體而言,EPIPLUS/ETAMAX Plato是一款高度先進的晶圓測試和計量工具,具有集成的自動化組件和精確測量功能。它是半導體制造的重要工具，提供可靠、高效的器件參數測量。