二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #177831 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，設計用於測量半導體晶圓的表面參數。該系統采用最先進的高分辨率反射成像和先進的計量傳感器，以精確測量晶圓表面的原子和納米結構特性。使用此單元,用戶可以輕松快速地測量所有類型的曲面特征,如線緣粗糙度和原子步長,並對它們進行深入分析。KLA 6200 Surfscan機器還集成了非計量掃描探針，允許分析壓電顆粒或光刻針孔等缺陷和汙染。該工具設計用於測量直徑可達300 mm的晶片，也可在可UV配置的環境中操作，使其適合需要UV照明的高級應用。此外，TENCOR 6200 Surfscan擁有雙區域視覺資產，由光學顯微鏡和視覺模型組成，能夠對小細節進行詳細的測量和分析，而傳統成像方法則無法看到這些細節。PROMETRIX 6200 Surfscan還配備了步進和反射計軟件，可以對晶圓表面進行高度精確的三維和地形成像。這樣就可以詳細分析原子層面的表面均勻性和微結構，以及無法使用其他技術測量的納米結構。此外,6200 Surfscan還配備了一個光機設備,該設備包括一個眼鏡片、一個物鏡和一個探測器,所有這些設備的設計都是為了隨時確保結構的穩定性和準確性。為了充分利用這個系統，它可以與數碼相機或抗蝕劑測量探頭等其他設備配對。抗蝕劑測量探針允許在原子水平上收集數據，然後可以用來生成電容或電阻等高度精確的電特性。這些數據可以用來進一步細化半導體芯片和器件的設計。總體而言，KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一個功能強大、最先進的晶片測試和計量單元，旨在對半導體晶片的表面參數和電氣特性提供高度準確和詳細的分析。本機適用於多種應用，包括精密計量、設計優化、汙染監測等。