二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #198584 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan設備是半導體行業用來檢查、分析、測量和比較各種基板地形特征的晶圓測試和計量系統。該單元允許用戶監控晶片的表面平坦度，可用於進行缺陷檢測、介電均勻性測試、蝕刻深度測量和臨界尺寸測量。KLA 6200 Surfscan是一個用途廣泛、可靠的計量平臺，建立在KLA專利的多站編程梯度測量（MSPG）架構之上。這種體系結構使機器能夠使用十個或更多獨立的表面測量工具在多個測試周期中精確測量和跟蹤表面地形數據。MSPG體系結構還促進了高度自動化、可靠的工具設計,在長期運行中提供可靠的性能。TENCOR 6200 Surfscan具有四英寸可視樣品馬達，它以多種速度旋轉晶片，以確保從所有晶片表面獲取表面測量數據。它還包括高精度激光多普勒幹涉儀，在三英尺直徑的樣品區域上測量分辨率優於0.2納米的平坦度。該資產的自動晶片處理使樣品基板的快速更改具有最小的停機時間,從而減少了測試時間和人工成本。此外,還使用專門的晶片卡盤來確保樣品在測試過程中保持安全。6200 Surfscan能夠同時進行2D和3D表面地形測量,使用戶能夠檢測介電、極化、電容和電阻率在一次測試到另一次測試過程中的波動。該模型還集成了先進的光學計量技術，如分形和幹涉技術，以測量3 D納米尺度的精度。最後,可以使用TENCOR專有的InSpec軟件在計算機上分析PROMETRIX 6200 Surfscan獲取的所有數據。此軟件允許工程師將獲取的數據存儲在安全的中央數據庫中,比較多次運行的數據,並以三維圖形顯示和分析結果。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一種可靠且易於使用的晶圓測試和計量設備,可在各種基板上提供準確且可重復的測量。其先進的MSPG架構和自動化的樣品處理最大程度地減少了停機時間和工作量,其高精度的激光多普勒幹涉儀提供了出色的重復性和準確性。此外,該系統能夠測量2D和3D表面地形,其InSpec軟件允許輕松存儲、比較和可視化獲取的數據。KLA 6200 Surfscan是尋找可靠且經濟高效的計量單元的任何半導體或研究專業人員的理想工具。