二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #193077 待售

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KLA / TENCOR 6220 Surfscan
已售出
ID: 193077
SURFSCAN inspection system Currently stored in air-conditioned area.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備,設計用於先進的半導體研究和集成電路制造。該系統是62XX系列晶圓測試系統的一部分,具有高速、廣域、深度分析能力。KLA 6220 Surfscan單元具有高靈敏度激光散射測量,高達1500晶圓圖像/秒,分辨率為10nm。此機器配置為利用標準的光反射(PR)和3D計量(3D)激光器對晶圓特性進行精確測試。具體來說,TENCOR 6220 Surfscan工具能夠通過測量不同角度的受控光源反射來分析晶圓地形和表面粗糙度。這允許測量各種特征,如單層或多層介電結構,以及溝槽、觸點、通孔和其他結構。該資產采用先進的激光幹涉儀和獨特的三維雙傳感器設計,能夠進行高速納米級測量,以進行精確的對準和參數評估。此外,該模型還提供了高級的基於Web的軟件,用於晶圓分析、缺陷分析、過程監視和輪廓映射。這個功能強大的軟件允許用戶輕松分析和可視化晶圓地形、檢測缺陷或執行精確計量。該軟件還通過提供自動化的數據收集和分析功能協助報告生成過程。此外,6220 Surfscan設備允許聚類類似的功能,以改進對過程像差的檢測。KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一個先進的晶圓測試和計量系統,在設計時考慮了用戶。它提供高精度和高速激光分析晶片特征,並允許準確的缺陷識別和過程監測。該股的網絡軟件協助報告生成過程,提供自動化的數據收集和分析功能。KLA 6220 Surfscan是KLA致力於提供尖端技術和先進監控解決方案以滿足半導體行業苛刻需求的典範。
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