二手 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #197891 待售

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KLA / TENCOR 6220 Surfscan
已售出
ID: 197891
Non-patterned wafer inspection system.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備,設計用於半導體制造。它能夠在多種晶圓類型上測量多種類型的電性能和物理性質,如矽、砷化氙和復合半導體。該系統由晶片處理硬件和光學成像單元組成,用於檢測、表征和測量晶片表面的缺陷。光學機器由捕獲晶片圖像的圖像捕獲工具和分析圖像的計量資產組成。圖像被評估為人工制品和缺陷,如顆粒、凹坑和臺階。此外,還可以測量特征邊和特征大小等特征。該模型能夠在200 mm晶圓上感測和測量100 nm以下的特性,主要用於設備工藝開發和工藝監控。該設備具有高度可配置性,具有用於掃描儀和分析儀配置的選項,以及用於識別和分析缺陷的多個自動內核和數據庫。此外,系統使用戶能夠根據各種流程要求自定義自動算法。KLA 6220 Surfscan為用戶提供了多種優勢,包括高精度和分辨率、靈活的操作、高效的自動化和可靠的測量。該單元以手動和自動操作模式運行,可以提供雙指數步驟和二進制文件等標準格式的測量。機器還具有多種自動化功能,使其能夠高效運行,且用戶幹預最少,如自動堆叠、表面特征識別、自動缺陷分類和自動缺陷檢查。總之,TENCOR 6220 Surfscan是一種先進的晶圓測試和計量工具,能夠對各種晶圓類型提供準確、可靠的測量。該資產是高度可配置和自動化的,使其成為半導體行業過程開發和過程監控的絕佳選擇。
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