二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #192177 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一款用於半導體制造領域的最先進的晶圓測試和計量設備。它將高度先進的成像和測量硬件與先進的軟件相結合，以提供前所未有的洞察矽片和其他高科技組件的特性。KLA 6420 Surfscan設計用於在計量和成像方面對IC晶片上的設備進行全面分析。它利用具有自動對準和對準校正功能的先進光學系統，提供快速、可重復的分析精度。它還包括在模具制作過程中進行過程監測的幾個備選方案，使復雜的過程控制和分析成為可能，以及一系列定制和標準的測量程序。TENCOR 6420 Surfscan包括一個集成的圖像采集單元，允許獲取高達8,000x8,000像素的詳細圖像。分辨率為0.45 μ m時,高分辨率允許詳細分析晶片上的各種元素,包括線條、間距和觸點等特征。此外,與傳統系統相比,該機器可以處理四倍的吞吐量。6420 Surf Scan配備了兩個通道平行探測器，帶有兩個測量頭，可以配合使用，也可以單獨用於檢查。這可以實現快速高效的性能,並在必要時在兩個通道之間進行切換。該工具還能夠進行高級2-D和3-D圖像處理，以及自動缺陷分類。高級算法使PROMETRIX 6420 Surfscan能夠區分真實缺陷和錯誤缺陷,並檢測缺陷是否分組或隔離。6420 Surfscan配備了完全集成的KLA多區分析資產（MZAS）和TENCOR缺陷分類模型（DCS）,使用戶能夠微調檢查參數,以及分析缺陷密度、大小和形狀。MZAS允許快速測量整個晶片表面的多個區域,而DCS可以使用各種技術準確識別分組、隔離和與幾何相關的缺陷。總體而言，KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一種可靠、精確的晶圓測試和計量設備。它以極高的分辨率提供對IC晶片上各種元素的精確測量和詳細分析。它采用了多種技術,能夠實現快速高效的性能,同時深入了解晶圓的特性和性能。