二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #192511 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，能夠以高速、精確、靈活和可重復性來測量和分析表面拓撲。該系統利用先進的掃描和成像技術來檢測微觀表面缺陷，並對當前生產環境中存在的表面和缺陷特性進行最詳細的分析。KLA 6420 Surfscan采用獨特的高分辨率3D-based成像設備,能夠分析任何材料,無論是矽、玻璃還是用於制造集成電路的任何其他設備。3 D成像機生成的輪廓用於精確測量表面拓撲，將表面缺陷與地形背景隔離，計算階梯高度、表面粗糙度、溝槽寬度等測量結果。TENCOR 6420 Surfscan還實現了最先進的階段子系統。具體來說,它由精確的直線軸承、真正的垂直沖程和計算機控制的級組成,這些級允許在x、y和z軸上精確定位樣品級。使用內置校準軟件,該工具通過確保正確跟蹤和比較收集的數據以進行復制,從而實現最佳模式識別性能。另一個關鍵的資產組成部分是高級缺陷檢測算法。該算法能夠以極高的精度檢測和分類缺陷，並能快速識別芯片相鄰區域之間的細微地形差異。借助6420 Surfscan模型，用戶還可以利用3 D光學剖面儀，如偏振增強共聚焦顯微鏡，獲得更精確的表面測量。此外,PROMETRIX 6420 Surfscan還為用戶提供了流程數據的總體可視化和管理。高級數據分析工具,如缺陷分析引擎,可以自動檢測和表征單個基板中的數千個缺陷,從而存儲檢查過程的全面報告。最後,KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan使用戶能夠確保最佳產品質量。該設備采用嚴格的質量控制方法,允許制造商在產品出現成本高昂的錯誤之前識別和消除缺陷。KLA 6420 Surfscan作為KLA的旗艦工具,是那些希望最大限度地提高質量控制能力的用戶的理想選擇。