二手 KLA / TENCOR AIT 1 #151017 待售

KLA/TENCOR AIT 1是一種晶圓測試和計量設備,使半導體公司能夠通過測試、檢查和表征其在一系列關鍵電氣和光學參數上的工藝步驟來確保產品質量。該系統旨在滿足大批量生產環境,並支持當今最先進的晶圓基板上2至32微米的功能尺寸。該單元將晶圓測試、計量和缺陷審查功能集成到一個平臺中,從而實現快速、可重復和可靠的性能。它具有獨立於高速應用程序的非接觸式3 D計量和缺陷分析、快速掃描激光束分析以及模對數據庫晶片測試功能。KLA AIT 1的高分辨率計量法有助於準確檢測包括小丘、鎖孔、薄片和孔在內的缺陷,以及測量模具表面的臨界尺寸相關參數。集成掃描激光束分析可執行實時3D形狀測量,並有助於識別模具中可能對設備性能產生嚴重影響的異常形狀因素。它還有助於識別在晶圓排序和裝配之前可以檢測到的參數化缺陷,如制造前的柵極短、BTI和其他與應力相關的缺陷。高優勢的模對數據庫測試解決方案精確地對包括閃存、控制器內存和RF IC在內的各種產品進行測試。它提供了一個缺陷數據庫解決方案,可以將設備性能詳細信息捕獲為後處理作業。此集成解決方案提供了一個數據庫,用於存儲特定的測試相關參數、分析缺陷趨勢以及將數據輕松插入軟件數據庫。TENCOR AIT1機器提供了一個結合高分辨率計量、缺陷分析和晶圓測試能力的多功能測試平臺。晶圓測試和計量工具通過優化半導體器件的質量，有助於提高產品產量，減少工藝變化。對於那些尋求自動、可重復和可靠的質量控制和低故障率解決方案的人來說,它是理想的資產。