二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #197077 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一種可靠、通用、高性能的晶圓測試和計量設備,可為光學薄膜和叠加測量、表面應力、輪廓測量和薄片電阻提供最大精度和可擴展性。該系統允許對半導體工業中的晶圓和基板進行詳細的工藝評估。KLA M-Gage 300占地面積大，吞吐量高，可實現高精度、精確的計量，周轉時間快。該設備采用創新的自動化高速自動對焦機,提供無與倫比的設備準確性和可重復性,並具有最少的操作員交互功能,以及眾多其他高端功能,這些功能顯著縮短了測量時間並最大限度地提高了生產率。該工具可編程以容納各種標準計量設備，包括白光幹涉儀、光譜、散射法、拉曼、原子力顯微鏡以及其他光學和非光學分析模塊。它還包括用於叠加和尺寸反饋控制的精確雙軸級，以及用於樣品循環的精確自動操作，確保對薄膜、表面、基板、半導體器件和微機電系統進行精確和可重復的測量。TENCOR M-Gage 300由於能夠評估各種尺寸和形狀的晶片和基板的電子、機械和光學性能，是半導體工業的重要工具。該資產具有高度可靠的內置數據采集模型，便於謹慎、安全地傳輸數據。此外，報告軟件提供了詳細的結果，便於確定過程參數。PROMETRIX M-Gage 300設備還配備了集成的觸摸屏基座，實現了與半導體設備的直接集成，使用戶能夠快速將多個子系統連接在一起，並通過暗室兼容的背光獲得準確的結果。該系統還兼容CAD和精密的薄膜模型。總之，M-Gage 300單元提供了可靠和先進的晶圓測試和計量功能，具有一系列復雜的功能，使其成為半導體行業真正通用、功能強大的工具。它提供了最大的精度、速度和準確性,同時提供了改進的數據準確性和最小的操作員幹預。