二手 KLA / TENCOR M-Gauge 300 #128691 待售

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ID: 128691
Thickness measurement system, 6"-8" Non-Contact Wafer monitor for Sheet Resistance Digital data converter, model 20 03030 Does not include printer Power requirements: 100V, 1A, 1ø, 50Hz Measurement Range: 1m ohm/square to 1,999 m ohm/square Ω/mΩ Switch ( on rear of measurement head ) Power Switch ( rear panel ) Measurement head Wafer carriage Display Disk access door Main / Auto button Start / Standby button 1996 vintage.
KLA/TENCOR M-Gauge 300設備是用於高科技制造的先進晶圓測試和計量系統。這個單元常被用來測量和檢查用於生產半導體器件和其他光電產品的晶片的厚度、平坦度、粗糙度、均勻性等特性。KLA M-Gauge 300采用三維輪廓對晶圓的2D和3D表面特征進行精確計量。TENCOR M-Gauge 300利用由兩個獨立掃描軸組成的5軸掃描平臺:X軸和Y軸控制掃描儀在樣品表面的重新定位,Z軸控制掃描儀的高度。這個掃描平臺允許對晶圓表面上的每個特征進行精確的單獨測量,以及完全集成的地形和粗糙度測量。此外,M-Gauge 300還為每個掃描軸提供了一臺自動校準機,使用戶能夠快速準確地設置晶圓表面以匹配已知的參考表面,並在計量數據集內達到盡可能高的精度。KLA/TENCOR M-Gauge 300為晶圓測試和計量提供了一套綜合工具。這包括聚焦離子束銑削、激光材料去除、幹涉測量和視頻成像等功能。這些工具使用戶能夠快速準確地識別晶圓表面的缺陷,分辨率為3納米。KLA M-Gauge 300還提供了一個統計模塊,該模塊將數據歸類為單個報告,以便於分析。此模塊還提供通過/失敗檢查,可用於生成晶圓特征的統計認證。TENCOR M-Gauge 300是晶圓計量的通用可靠工具,為各種晶圓測試應用提供精確、準確的結果。它提供靈活和可定制的選項,旨在滿足任何生產環境的需求,其直觀的界面和自動校準選項使其操作和使用變得簡單明了。依靠這種最先進的晶圓測試和計量工具,用戶可以放心,他們的生產成果將達到最高質量標準。
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