二手 KLA / TENCOR P15 #9254109 待售

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KLA / TENCOR P15
已售出
ID: 9254109
晶圓大小: 8"
Long scan profiler, 8" Upgraded from P11 Computer controlled Automatic measurement capability Measurement of vertical features: 100 Å (0.4 min) to ~300 µm (11 mils) With vertical resolution: 0.5, 2 / 10 Å Includes: Semiconductor wafers Thin film heads Precision machined and polished surfaces Ceramics for microelectronics Glass for flat panel displays Optical surfaces.
KLA/TENCOR P15是半導體制造商市場領先的晶圓測試和計量設備。它適用於廣泛的應用,允許從最先進的節點到200 mm晶圓,對具有特征大小的樣品進行自動化和高精度的測量。KLA P-15提供各種性能功能,以最大限度地提高吞吐量和準確性。該系統提供世界級的精度,2D覆蓋精度高達+/-2.5nm, 1D CD均勻性高達+/-1.5nm。該單元的檢測能力還包括用於缺陷檢測的高級算法,具有一流的數據吞吐量。TENCOR P 15集成了光學和聲學傳感器,可提供高速測量並提供最高精度,使用戶能夠進行多次測量並以極高的精度分析數據。此外,該機器還集成了強大的數據處理和報告功能,並提供了在最苛刻的制造環境中部署的靈活性。P15還可以測量範圍廣泛的晶圓參數和表面特性。這些包括粒子間隙測量、平坦度測量、應力測量、線寬測量、穿刺尺寸測量等等。此外,它還能夠執行深入的尺寸分析,從而可以更快地解決問題,減少停機時間。此外,該工具用途廣泛,可以完全適應每個客戶的獨特需求。資產靈活的設計允許快速轉換和輕松配置,從而允許最大生產周期時間和最小化運行時間。KLA還為TENCOR P-15提供技術支持,確保客戶能夠獲得專家的技術咨詢、故障排除和定期維護。總之,P 15是一種創新的晶片測試和計量模型,在測量最復雜晶片特性時提供了最高的精度和最佳的吞吐量。憑借強大的設計和先進的功能,KLA/TENCOR P-15為當今半導體制造商的需求提供了出色的解決方案。
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