二手 KLA / TENCOR 5107 #154364 待售

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ID: 154364
CD Overlay System.
KLA/TENCOR 5107晶圓測試計量設備是半導體制造業檢驗計量的完整解決方案。該系統經過優化,為半導體生產線提供快速、準確、可靠的晶圓測試和計量。KLA 5107提供了廣泛的功能和功能,例如自動晶片測試、現場檢查、prober性能測試和配置文件掃描。它還具有易於使用的界面,可實現快速、準確的數據讀取和分析。對於自動晶圓測試,TENCOR 5107具有廣泛的模塊陣列,可測量多種指標,包括光學、電氣和物理屬性。該單元被封裝在減振外殼中,可提供最大吞吐量和數據精度。對於現場檢查,5107提供了多種自動化功能。它可以實時檢測晶片表面的各種顆粒汙染和其他特征,從而能夠快速準確地采取糾正措施。此外,該機器還可以檢測晶片的電氣和物理特性之間的差異,從而改善產量和缺陷管理。KLA/TENCOR 5107的其他特性包括prober性能測試和輪廓掃描。Prober性能測試允許評估性能參數,如陣列放置精度、叠加精度、分辨率、延遲、膠水衛生和泄漏率。輪廓掃描是一種自動讀取晶圓地形並生成二維或三維地圖的過程。通過提供晶圓表面的詳細地圖,這一過程有助於確保沈積或去除過程的均勻性。KLA 5107為半導體制造帶來可靠、準確、經濟高效的晶圓測試和計量。利用其自動化晶片測試、現場檢查、prober性能測試和輪廓掃描功能,此工具可以節省時間、提高產量並降低生產成本。
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