二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9185507 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備，設計用於晶圓的精確檢查和無損評估。該系統用於測量和監測半導體工業中晶片的關鍵表面特征。KLA 6200 Surfscan是一個最先進的單元,由一組復雜的硬件和軟件組件組成,可快速分析晶圓表面。該機集成了強大的光學放大工具、3軸粗手動移動控制以及在單個晶圓上測量多個位點的能力。這使用戶能夠識別亞微觀缺陷,並測量陣列化和非圖案化設備的關鍵尺寸。要支持TENCOR 6200 Surfscan,可以使用專門的軟件包。此軟件能夠自動識別和測量步高、側壁角度和螺距測量等特征。它還支持報告（包括缺陷捕獲和糾錯）,以及用於改進流程控制的自動統計信息。資產的硬件同樣復雜。該模型包括一個包含用於控制機器定位的安全馬達和運動控制器的組件，以及光學顯微鏡、光源、圖像分析視頻模塊和可拆卸鍵盤。光學顯微鏡提供了高分辨率的成像和廣闊的視野，使設備能夠檢測到非常小的缺陷並進行精確的測量。PROMETRIX 6200 Surfscan是自動檢查和計量的寶貴工具。它允許用戶精確測量表面特征，快速、高精度地進行無損晶片測試。6200 Surfscan具有直觀的軟件、通用的硬件和強大的光學功能,是希望改進工藝控制和產量的半導體制造商的理想選擇。