二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9199098 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款高精度晶圓測試和計量設備。它旨在應對大規模晶圓加工技術的發展挑戰，並提供關鍵器件特性的可靠測量。在KLA 6200 Surfscan問世之前，需要大量的人力和時間來檢查每個單獨的晶片，找出缺陷，了解其根源。TENCOR 6200 Surfscan允許對晶片進行可靠的表征和測試,使制造商能夠更好地了解其產品的性能,輕松識別有缺陷的晶片和設備,並改進其工藝控制。該系統在各種材料和晶圓平坦度或非平面度應用中提供快速、準確和可重復的測量。這種速度和準確性有助於制造商將評估其工藝參數的周轉時間降至最低。此外,6200 Surfscan使用先進的光學成像和晶圓跟蹤系統來實現高度精確的測量,並以更高的完整性提供數據。該單元還為操作員提供了自動化的例程，如粒子計數、數據捕獲、計量和其他測量，這些例程可用於識別晶圓結構、器件的電性能或晶圓表面上的汙染物的潛在問題。它還包括先進的缺陷檢測功能，如Darkfield Mode，以查找晶圓表面的外來粒子。該機器還提供了無與倫比的表面地形分析功能,使用諸如線掃描、FFT、3D輪廓以及Z和X、Y軸模式的振幅等參數。此外,PROMETRIX 6200 Surfscan還為非平面（3-D）地形和紋理測量提供了高靈敏度。這可以使用先進的算法來檢測微觀上的細微差異。該工具還能夠快速掃描各種材料，從笨重的標本到epi基質。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan通過提供全面、快速和可重復的方式來測量、表征和分類晶片,從而徹底改變晶片測試和計量學。憑借其先進的特性和能力，它正在幫助晶片加工行業改進過程控制，變得更加高效和經濟高效。