二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9224678 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一種晶圓測試和計量設備,旨在確保半導體器件的精確測量和測試。它允許用戶快速準確地識別和分析半導體晶圓表面的缺陷。它是一種高度自動化、現場和生產驗證的用於測量晶圓和設備拓撲的解決方案,用於從測量金屬、多晶矽和擴散層到表征缺陷和模式計量的廣泛應用。KLA 6200 Surfscan基於可擴展的體系結構構建,可滿足批量生產和高級計量應用（如LED芯片測量）的需求。它堅固可靠,可承受嚴酷的生產環境。它具有自動化的定向算法模式合成（DAPS）功能,允許用戶快速創建模式以測試運動和移動性、非線性、非均勻性和波浪性。該特征還允許根據需要創建新模式。該系統配備了功能齊全的晶圓邊緣檢測器，可精確測量晶圓邊緣，並檢測光掩模缺陷和汙染。它還包括一個先進的透鏡模塊，可以讓用戶一次掃描多達10mm的晶圓，以及範圍廣泛的軟件工具，用於晶圓厚度監測、粒度測量、晶圓曲率和平坦度測量、全局均勻度測量、低百分比缺陷測量和叠加分析。TENCOR 6200 Surfscan采用復雜的算法和易於使用的圖形用戶界面設計，便於操作和解讀數據。它包括用於快速數據分析和報告的自動化配方,包括缺陷計數、缺陷檢查、顏色映射、電子束檢查和自動圖像分析。軟件由全面的培訓材料進行備份,使用戶可以快速適應設備並快速啟動和運行。6200 Surfscan符合最高標準,確保所有用戶的質量和可靠性。它還通過了符合行業安全和環境標準的認證，使其成為各種生產環境的理想機器。它結合了自動化的特性和復雜的軟件，使得它成為精確晶圓缺陷分析和計量在苛刻的生產環境中的絕佳選擇。