二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9352549 待售
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已售出
ID: 9352549
晶圓大小: up to 8"
Particle counter, up to 8"
Motor distribution
4 Channels motor control
4 Channels power motor drive
General purpose I/O
Power distribution
VGA
CPU: 486
PMT Pre-amplifier
Wafer detector
Keyboard interface
Timing generator
Particle area processor
Haze
Analog
Right indexer
Left indexer
Lead screw
HD driver
PMT Tube
PMT Power supply
Scan mirror
Laser
Laser power supply
Floppy disk
Mouse
Sort-cam
Puck
AC Module
DC Module.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan是一款由領先的半導體設備供應商KLA開發的精密晶圓測試和計量設備。KLA 6200 Surfscan專為滿足前沿半導體行業的關鍵工藝控制要求而設計,提供了最準確、精確和全面的計量功能,使世界一流的制造商能夠從其生產過程中獲得最高的產量和最高的性能。TENCOR 6200 Surfscan的高級成像功能允許在處理前後捕獲和分析晶圓的各種表面、地形和輪廓參數。利用雙攝像頭、多幀成像系統,精確測量了包括輪廓和陸地/山谷高度、平滑度、共面度和平坦度在內的成像參數,使6200 Surfscan成為市場上要求最苛刻的應用程序的理想選擇。除了其成像功能外,PROMETRIX 6200 Surfscan還提供了測量數據的卓越準確性和可重復性,並具有快速訪問數據叠加功能,可快速輕松地比較不同的晶圓。該單元還配備了經過驗證的過程控制增強工具,如協同對齊、叠加、表面和三維計量分析軟件,確保生產中持續提高產量。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan還具有熟悉、直觀的用戶界面,可以與其他TENCOR計量系統共享,使用戶可以輕松地在系統之間切換以預測和分析產品產量。此外,用戶可以使用強大的數據趨勢和趨勢分析工具,利用板載腳本和時間建模來節省時間和優化性能。最後,KLA 6200 Surfscan確保其機器控制軟件的性能一致,該軟件旨在在整個生產周期內提供最高級別的設備一致性。為了獲得更高的效率和可靠性,TENCOR 6200 Surfscan支持自動傳感器和熱力發動機校準,確保該工具始終保持峰值性能。6200 Surfscan是市場上領先的晶圓測試和計量解決方案,利用最先進的成像和過程控制技術為半導體行業提供最高性能和最高產量。
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