二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #46197 待售

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KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC
已售出
ID: 46197
Four (4) Point Probe Resistivity Mapping System with Temperature Compensation and Wafer Handler Stainless steel clean room version Cassette to cassette measurement Display modes include contour maps, 3-D plots and diameter scans Can compensate sheet resistance measurements against ambient temperature and materials TCR Accommodates wafers up to 8" 115V, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC是專門為半導體和光電工業設計的晶圓測試和計量設備。這種先進的設備用於生產和開發應用,包括芯片測試、封裝、過程監控和質量控制。KLA RS-55TC系統的軟件能夠控制生產過程參數,包括位置、焦點、掃描模式和照明。TENCOR RS55/TC配備1至2英寸晶圓掃描級、封蓋模塊、晶圓掃描站和集成相機技術。這一先進的測試單元具有測量4D(尺寸、模具尺寸、厚度)、2D (X/Y)、像素陣列分析和臨界尺寸分析的能力,具有卓越的準確性和可重復性。此外,這臺機器還配備了獲得專利的高分辨率數字成像工具,該工具將高達0.1µm的平面內分辨率與高達5µm的測距精度相結合,可進行極其精確的測量。TENCOR RS-55/TC還配備了先進的自動化資產。自動晶片碎片功能允許自動晶片分割,並且可以準確識別和區分性能與不良模具。該模型能夠分析形狀和顏色等光學特性、溝槽形狀等金屬幾何特征、臨界尺寸分析以及測量圖像對比度和焦點。最後,RS-55TC還具有直觀的用戶界面。此用戶界面使操作員可以輕松訪問重要的設備功能,並允許輕松調整配置選項。該系統開放的體系結構使其與其他制造自動化軟件兼容,使其具有很大的靈活性。總體而言,PROMETRIX RS55/TC是一個用途廣泛且精確的晶圓測試和計量單元。它具有測量4D、2D、像素陣列分析和臨界尺寸分析的能力,具有極高的精度和重復性。此外,自動化機器和直觀的用戶界面提高了此設備的靈活性,使其非常適合半導體和光電行業的廣泛應用。
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