二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9396481 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75是一種高端自動化晶圓測試和計量設備，旨在滿足不斷增長的半導體行業的需求。其特點包括高精度、多軸檢測器，能夠同時檢測多達16個晶圓。該系統具有高分辨率的檢查和計量能力，可以選擇在檢查方面提高分辨率，在計量方面提高準確性。KLA RS75配備了支持200 mm以上各種晶片尺寸的大環級，最大轉速為24 rpm，最大掃描速度為13.7mm/s。探測器具有內置智能，能夠自動識別缺陷。在測量能力方面，TENCOR RS 75配備了高度靈敏、多軸單元和33個光電倍增管基探測器陣列。這臺機器提供了從1 X到4000X的放大倍數的檢測功能。該工具能夠測量多個參數,如表面地形、粒子密度、線寬、表面平面度、光學參數、CD/x 尺寸/y尺寸、對比度和線邊/空間粗糙度,以及3D電路和封裝模具堆棧的關鍵尺寸。此外,該資產還具有模式識別軟件,當與多軸測量模型結合使用時,可提供快速、準確的結果。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75利用多種技術來確保高精度和可重復性,包括舞臺的自動表面校準、自動對焦檢測以及用於線寬測量和模式識別的高級算法。它還配備了幾個物理屏蔽裝置，以盡量減少設備噪音，並配備了一個集成的粒子計數器，以捕獲潔凈室和樣品汙染數據。該系統還能夠存儲多達200萬張圖像，用於檢查和分析過去和現在的數據，以提高產量，進行根本原因分析和材料擦洗。TENCOR RS75除了具備通用的測試和計量功能外,還提供了一套全面的軟件。其全套軟件提供高級編程、測量設置、數據處理和分析功能。它還包括用於查看和分析晶片、覆蓋多個圖像以及比較數據集的軟件。此軟件旨在使工程師能夠快速準確地審閱數據並進行實時分析。此外，作為包裝的一部分，RS 75包括一個針對半導體制造需求的工藝控制應用工具箱，如裝箱和快速訪問關鍵工藝參數。KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 75是高精度晶圓測試和計量的理想解決方案,適用於多種應用,包括高性能設備和光束轉向MEMS。其精密的探測器提供了高分辨率的掃描單元，而其集成的測量和數據處理工具使工程師能夠快速準確地分析測量和訪問關鍵過程參數。PROMETRIX RS 75具有存儲大量數據的能力和全面的軟件套件,為晶圓測試和計量提供了一個多功能的解決方案。