二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1280SE #9013077 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1280SE是最先進的晶圓測試和計量設備，可用於半導體和光學行業。KLA UV-1280SE專為廣泛的應用而設計，如介電和地形檢查、電氣計量、光學檢查、正光刻和薄膜測量。TENCOR UV 1280 SE具有場增強光學平臺，允許精確測量多種材料，無論反射率或偏振。PROMETRIX UV 1280 SE能夠收集高分辨率的3D計量數據以及同時的視場成像。它使用高能聚焦光束、浮動物鏡級和兩條可變延遲線放置和曝光樣品進行檢查。這樣可以精確檢查和檢測樣品晶片上的各種特征，對表面結構的損害最小。該系統還具有一系列不同的成像能力，如暗場成像、微圖案、多圖樣和光學比較器。所有這些成像模式都可以結合使用，以多尺度精確調查樣品的結構。KLA UV 1280 SE的成像能力與高級軟件相結合，該軟件旨在快速識別和測量感興趣的特征。KLA UV 1280SE還采用專門的非接觸式儀器來測量薄膜厚度。它配備了基於單色儀的光譜儀和用於精確和受控厚度測量的多波長激光器。該單元配備了廣泛的入射角，可以用來測量樣品晶片上每一層的厚度。該儀器可借助光敏成像測量私人縫隙和六角形結構。總體而言,PROMETRIX UV 1280SE是一臺一站式機器,可精確、快速地進行各種晶圓測試。其先進的成像能力允許對納米級特征進行精確的3D測量，而其可變角度儀器則非常適合測量薄膜厚度。此外,其強大的軟件功能允許對目標位置進行高效和自動的測量,使其成為半導體和光學行業的寶貴工具。