二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9012564 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一種綜合性設備,旨在提供最精確、分辨率最高的掩模和晶圓檢測。它采用專有技術在單個平臺中提供缺陷檢查,並提供同類產品中的最佳性能。該系統結合了SAQS（Sub-pixel Accurate Quantum Sensing）和先進的成像光學器件，以確保晶圓和掩模表面缺陷的檢測和分析具有無與倫比的準確性。該單元利用空間調制照明、並行成像處理和專有算法來查明晶圓上尺寸小於10納米的缺陷。然後,KLA SP1 DLS可以精確定位分辨率優於1 nm的缺陷,從而允許對整個晶片進行全面檢查,以找出傳統檢查方法難以檢測到的缺陷。該機器還能夠在不同站點之間快速共享晶圓/掩碼圖像,從而可以輕松診斷問題並實現更快的修復。該工具還使用戶能夠創建一個包含發現的所有缺陷的自動化數據庫,以便將缺陷數據有效地呈現給晶圓廠。資產還包括檢查和分析軟件，允許快速分析單一平臺內的所有缺陷。該軟件允許用戶自動化檢查過程，分析缺陷特征，並就進一步行動做出決策。TENCOR SP 1-DLS除了檢查模型的尖銳細節外，還具有提供無損檢查的能力，允許用戶進行重復晶片和掩模檢查，不會對晶片或掩模表面造成任何損壞。最後,SP 1-DLS還設計為與其他KLA系統集成,以實現無縫檢查和維修體驗。