二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9250876 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是一種提供自動缺陷檢測的掩模和晶圓檢測設備。該系統由包括帶電耦合器件（CCD）圖像檢測器、從晶圓或掩碼獲取高分辨率圖像和衍射數據的光頭組成。然後使用專門的圖像分析軟件對獲取的數據進行分析，使工程師能夠檢查晶片是否存在可能的缺陷。KLA SP1T-BI單元為操作員提供了易於使用的用戶界面，使其導航和操作變得簡單。機器可以編程為檢查單個模具、多個模具或整個晶片。它具有強大的CCD探測器,可用於高分辨率成像,以及一系列照明選項,如暗場、亮場、輪廓照明、偏振器和濾光片。這些特征能夠分析從納米尺度到宏觀尺度的特征。TENCOR SP1 TBI在進行檢查時考慮所有取樣要素。自動缺陷檢測軟件確定潛在缺陷是隨機粒子還是特定的、過程生成的特征,如丘陵或via。可將樣本存檔以供將來參考或進一步詳細分析。KLA/TENCOR SP1 TBI還有一個可選的集成光學輪廓儀，進一步增強了它的能力。Profilometer允許在分析缺陷時進行高級地形和形狀測量，從而實現更好的缺陷分類。用於TENCOR SP 1 TBI的集成軟件除了提供分層缺陷分類之外,還提供了廣泛的設置和報告功能。這些功能減少了檢查和表征缺陷所需的時間。此外，各種內置的報告模板可以快速、方便地報告檢查結果。KLA SP1 TBI還提供了一套高級工具，如CameraLink和以太網通信，以及大量交互式工具。這進一步減少了檢查和鑒定缺陷所需的時間。綜上所述，KLA/TENCOR SP 1-TBI是一種可靠、高效的掩模和晶圓檢測工具。該資產為用戶提供了一套強大的功能,可實現高分辨率成像和自動檢測缺陷。其集成的剖面儀進一步增強了能力，先進的地形和形狀測量提供了更好的缺陷分類。用戶友好的用戶界面和廣泛的報告功能使SP1T-BI成為高精度掩模和晶圓檢查及特征的絕佳選擇。