二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9225845 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B是專門為半導體制造設計的晶圓測試和計量設備。該系統提供了一整套計量和檢驗工具,可應對下一代計量難題,同時提供高吞吐量和低開銷。該裝置具有令人印象深刻的套件，包括SEMI標準測量、覆蓋、CD-SEM、晶圓缺陷和低壓無損測試。KLA OPTIPROBE 2600B配有一個5軸電動級進行檢查、伺服控制柵格以及最多三個電動顯微鏡進行在線和離線處理。該機采用模塊化結構設計，在200 mm和300 mm基板上可容納10 µm分辨率，掃描面積900 mm x 1200 mm。該工具使用獲得專利的2D和3D圖像算法,對線寬和間距、邊緣位置、叠加問題、地形、波形和輪廓進行精確的測量和分析。它還為清潔和非清潔晶片提供來自功能強大的缺陷檢測工具的數據。專有ODCX-3D專利的過程感知和設備感知缺陷檢查軟件定位嵌入式缺陷和外圍缺陷,並提供快速分析和報告。此外，獲得專利的TENCOR OPTIBE 2600B利用PRT模式識別技術識別和報告過程敏感缺陷。Insight完整的晶圓測試和計量軟件平臺提供了一整套對過程敏感和DFM敏感的應用程序,用於檢查所有主要制造和包裝缺陷。THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 2600B設計用於快速和高精度的測量。利用先進的圖像處理技術，以亞納米精度解碼邊緣位置和叠加問題。此外,它還能夠自動對時間密集的任務和復雜的作業進行例行測試,並將數據自動傳輸到軟件系統以進行進一步分析。OPTIPROBE資產提供了三大高級功能，如集成過程控制站、增強Web服務和離線操作模式。它還通過安全的Web服務提供遠程訪問和安全控制。該模型完全適合當今先進的工藝和制造要求。