二手 THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260 DUV #9004644 待售

THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 3260 DUV是一種高端非接觸式晶圓測試和計量設備，設計用於與先進集成電路（IC）技術相關的過程。它利用獨特的全角相位測量（APM）成像技術實時測量晶片的物理特性。用於精確測量物理性質，如蝕刻高度剖面、反射率剖面、電介質堆棧等。這些物理性質測量使得晶圓IC制造過程中的許多重要參數得以優化。THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 3260DUV能夠測量多達16種不同的IC材料，包括矽、砷化氙（GaAs）、氙（Ge）、和氧化​​氙（Ta2O5）。它有一個四檢測器陣列，以確保精確的測量可以從多角度的晶圓。這是需要高精度和精確度的半導體過程中的一個非常寶貴的特性。光學系統的波長範圍為193-1535 nm,可確保對各種材料和應用進行測量。除了這個令人印象深刻的光學單元之外，OPTIPROBE 3260 DUV還具有一個集成掃描頭，可以在一次掃描中測量多達四個晶圓探測點。這是涉及多個過程步驟或晶圓測量驗證的應用的理想選擇。掃描還能夠生成算法上最優的掃描模式，以確保每次精確和可重復的測量。此外,OPTIPROBE 3260DUV還提供了許多其他優點,例如能夠對厚度不同的晶片進行測量、執行大量並行掃描過程以及濾除信號中的噪聲。先進的內置控制軟件與各種數據分析和控制系統兼容，也提供了高度的靈活性和自動化。這樣可以確保更高的測量精度、可重復性和可靠性。綜上所述，THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260 DUV提供了一臺全面先進的晶圓測試和計量機器。它的Quad探測器陣列、寬波長範圍和集成掃描頭允許在多個角度和過程步驟上進行高度精確和可靠的測量。此外,集成控制軟件確保了優化的掃描過程和更高的自動化水平。這使得THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260DUV先進的IC制造工藝的理想選擇。