二手 THERMA-WAVE OPTIPROBE 5205 #62641 待售

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ID: 62641
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Thin film measurement system, 8" Process Type: Single Wafer CE Marked Cassette Interface: 2 Asyst SMIF Loadports Wafer Handler Type: Puck PRI Robot – Single Blade Measurement Techniques: Beam Profile Reflectometer Beam Profile Ellipsometer Deep Ultra-Violet Reflectance Ionizer in Mini-environment (MENV) OS Software: Win XP Application SW: TFMS-XP V3.2R1 SR-0 P6 HF2 V 100-120 / 200-240, A 20, Single Phase, Freq 50 / 60Hz 2001 vintage.
THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 5205是一種晶圓測試和計量設備,被設計為執行各類晶圓測試和計量的功能齊全的平臺。它能夠提供關於有源和非有源晶片模具和後端格式的高度準確的數據。該平臺利用行之有效的技術,獲得單個模具或整個晶片的精確掃描和電氣性能剖面,以及三維寬場光學和其他光學測量。該平臺以旋轉晶片級為基礎,包括多項消除離軸誤差的措施,優化了模模可重復性和系統線性。這種設計使得該單元能夠精確測量單個模具或整個晶片的形狀、表面和電性能。OPTIBE 5205還配備了專有的熱波成像機,提供用於定位模具故障和熱點識別的二維紅外成像。多通道波形采集還可以從連接到柵極和漏極的設備和設備捕獲晶片上的電波形。對於計量,該工具有一個集成的計量階段,使得它適合執行光學和其他計量。計量階段與高分辨率視頻成像資產集成在一起,提供放大和焦點校正以及地形成像。它也可用於納米級光學成像。該模型具有基於觸摸屏的直觀控制器,可簡化操作並與手動和自動操作無縫配合使用。此外,THERMA-WAVE OPTIPROBE 5205配備了提供模式識別技術和Autofocus功能的先進視覺設備。它可以配置為執行自動電路測量和軟件輔助模具識別和位置檢測。這種先進的視覺系統使得它適用於自動故障分析,如橫截面分析和3D叠加對齊。最後,OPTIPROBE 5205具有先進的特性,使其成為理想的晶圓測試和計量單元,適用於IC封裝、MEMS、SiP和裝配等應用。機器還提供有源和非有源晶片格式的精確數據,使其適用於廣泛的晶片測試和計量任務。
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