二手 VEECO CXR-V #186444 待售

VEECO CXR-V是為半導體工業設計的多功能晶圓測試和計量設備。它是一個全自動系統，對半導體器件提供準確、可靠、可重復的表面評估。CXR-V利用非接觸傳感技術測量晶片表面的地形、物理形狀、表面粗糙度和其他關鍵參數。該單元包括反射計、微輻射法、電容測量、橢圓偏振法和自動缺陷檢查等多種應用。VEECO CXR-V的反射計設計用於提供各種材料的薄膜厚度、地形、應力和組成的精確測量。然後對測量值進行評估,以確定設備的表面特性。它也使用橢圓偏振法（ellipsometry），一種無損光學技術，來量化薄膜性質。橢圓偏振法可用於測量材料和薄膜的厚度和光學常數。該機包括一個具有無接觸傳感器的高精度電容測量單元，用於測量設備的板材電阻和板材載流子濃度等電氣參數。該工具還包括一個微輻射計，它能夠以亞微米精度測量樣品的微米尺度表面溫度。該資產支持自動缺陷檢查，它使用高級算法來識別晶圓表面的缺陷粒子。這可用於快速識別和評估潛在缺陷,同時消除手動過程和消除操作員錯誤。用戶界面允許輕松操作和監控模型的性能。CXR-V設計用於各種晶圓測試和計量應用，使其成為半導體制造商經濟高效、高性能的解決方案。