二手 WYKO / VEECO PZ-06-SG-FF #193297 待售

WYKO/VEECO PZ-06-SG-FF是用於制造微電子元件的晶圓測試和計量設備。該系統由晶圓抓取器和虛擬計量室兩個關鍵組成。晶圓抓取器最多可容納六個標準150毫米晶圓直徑，並輕輕夾緊它們到位。抓取器使技術人員能夠準確地將晶片移入計量室,並具有可調節的刀片,以便為每種晶片類型定制抓地力設置。虛擬計量室是該單元的關鍵組成部分，因為它容納了所有用於測量晶圓元件性能的光學和電氣傳感和診斷儀器。在腔室內部,使用CCD攝像頭和雙像素跟蹤機來保持晶片的定位和對齊,而先進的運動控制功能則可以保持一切對齊和對齊。該工具還具有在線監控資產,可為每個晶圓生成實時測試讀數。此信息已存儲,可供以後查看,以確保生產操作的可重復性和準確性。在計量室內，先進的激光測量工具可以測量尺寸和特征，精度± 0.2微米。激光工具還可以測量螺距、過度蝕刻深度、共面度和凹槽寬度等多個參數。為了進行電氣測試,該型號具有超低電流傳感器,允許電流降至1 Femtoamp （1 10^−15安培）。該設備還具有先進的溫度控制，溫度低至-197攝氏度。這樣可以保持溫度的一致性,並確保保持測量精度,同時仍允許靈活地適應一系列溫度要求。此外,WYKO PZ-06-SG-FF還包含一系列安全功能,如防止電擊、自動安全截止開關和監控功能,這些功能可提醒技術人員註意潛在問題或安全隱患。總體而言，VEECO PZ-06-SG-FF是一個先進的系統，在測試和測量微電子元件時提供無與倫比的精度、靈活性和安全措施。其復雜的功能和自動化功能使精密生產能夠滿足最高質量的要求。