二手 DNS / DAINIPPON SU-3100 #9129361 待售

DNS/DAINIPPON SU-3100濕站是一個先進的DMA站，用於高性能納米技術研究和電子設備設計。該站設有多層光刻設備和原子層沈積、反應性離子蝕刻、化學氣相沈積、等離子體增強化學氣相沈積、濺射等一系列先進工藝。它能夠以高精度和高分辨率對金屬、聚合物和電介質進行制圖。該站采用激光直接成像（LDI）系統進行精確的掩模對準。該單元使用功率為6 W、強度高達50 mW/cm2的精密微焦二極管激光器投射出可精確對準所需圖樣的掩模。XY閉環電動機可實現高精度和高精度對準。LDI機可實現高達250納米的分辨率，可容納高達600 x 600毫米的一系列掩模尺寸。濕式測站還利用多層光刻工藝制造集成電路。其掃描電子束在基板表面實現了納米尺度特征的圖樣化，精度高，分辨率高。這是通過先在基板上施加抗蝕劑掩模，然後激光直接將掩模成像到基板上來完成的。然後，該工具使用反應性離子蝕刻或化學氣相沈積方法的組合，將圖樣從掩模轉移到基板上。該站還包含幾個能夠保持工藝環境純度的汙染物清除系統。為了減少顆粒進入過程的機會，在加工前使用了一種不費力的液體循環除塵器和微水冷卻器。該站有一個用於過濾和再循環濕法過程中使用的流體的內置資產，以及一個帶0.2 µm過濾器的臭氧清除模型和冷凍再循環設備。這些系統有助於防止加工過的基板受到汙染，提高設備的可靠性和壽命。DNS SU-3100 Wet Station是納米加工和設備設計的先進站點。由於其高精度和分辨率、去除汙染系統和多層光刻選項，它為研發提供了一個先進的平臺。