二手 MODUTEK QA14-DA1 #9081711 待售

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MODUTEK QA14-DA1
已售出
製造商
MODUTEK
模型
QA14-DA1
ID: 9081711
Wet station.
MODUTEK QA14-DA1,由MODUTEK公司制造,是一個濕式加工站,用於各種先進的半導體生產工藝。QA14-DA1能夠處理200毫米至300毫米尺寸的基板,總加工面積為10,240平方英寸。其他功能還包括深度為18英寸的加工室、可容納多達六個盒式磁帶的裝載端口、用於調節氣體分配的氣箱以及長壽命的膜傳遞單元。該站的密封不銹鋼設計確保了生產過程中的最大效率。它還允許執行一系列自動化過程,如化學制劑、抗蝕條、蝕刻、清潔和幹燥。這使得濕站適合於晶圓制造、光掩模制造等高科技產業的應用。該站配備了強大的單相泵系統,利用離心泵和正排量泵的混合。這種靈活的系統能夠以每分鐘10、20、30和40升的四種流量中的任何一種傳輸化學品、液體和其他材料。該系統還提供了一些額外的功能,如空氣攪拌、空氣油底殼冒泡和水文脈沖操作。該站的設計旨在提供嚴格的廢物管理和方便用戶。它支持一系列廢物處理能力,例如使用普通廢物罐、管理多種類型廢物的能力以及關於廢物數量的持續反饋。這使得它適合在必須遵守嚴格廢物管理協議的大容量晶圓制造環境中使用。濕站還便於快速、方便用戶的操作。用戶界面提供了可自定義的配方、自動生命參數監控以及詳細的維護記錄。此外,它的模塊化設計允許方便的服務和維護.總體而言,MODUTEK QA14-DA1提供強大的功能和多用途的性能,使其適合在一系列高級半導體工藝中使用。
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