二手 SANKYO WH80 #293608546 待售

SANKYO WH80濕站是一種用於半導體晶片濕加工的多合一機器。它旨在為光刻塗層、開發、計量和後處理等關鍵工藝提供最大程度的準確性和可靠性。該設備具有直觀的用戶界面、廣泛的可自定義自動化選項以及先進的控制軟件，使其成為高端半導體生產線的絕佳選擇。機器配備了控制器和智能機器人，將基板從一個站移動到另一個站。這臺機器有一個大型機，有許多可互換的臂和噴嘴組件，允許靈活的基板處理。大型機還包括晶圓清洗站、路由站和閘站，控制和路由晶圓。在光敏塗層站，晶片會自動塗上光敏塗層和自旋幹燥。開發站能夠開發出一系列抗蝕劑型材，包括薄的和堅硬的抗蝕劑、邊緣珠抗蝕劑和負性抗蝕劑。該機還能清洗和幹燥晶片，以及提供濕化工站、汙泥過濾站和退火站。WH80濕電站還設有一個綜合計量系統，可用於測量晶圓生產的各種參數，如晶圓尺寸、電阻率、蝕刻深度和表面粗糙度。該單元還提供了詳細的分析數據，如叠加性能和過程可重復性。機器連接到控制軟件，允許用戶遠程控制其功能。此外，由於軟件的內置優化算法，軟件可用於優化生產過程。SANKYO WH80濕站對於半導體制造商來說是一個非常寶貴的工具，為濕處理提供了一個多合一的解決方案。它是一種可靠、經濟高效的工具,可提供頂級性能和準確性。WH80濕式工作站具有廣泛的自動化選項、全面的計量能力和用戶友好的設計,是高效生產運行的絕佳選擇。