二手 HOE IE HIMJ-0072 #9132945 待售

HOE IE HIMJ-0072是由HOE（均質有機電子）開發的光刻設備，利用新型凹版印刷技術和改進的元件。這種光刻系統用於生產高分辨率、低成本、低電壓的電致發光顯示器。HIMJ-0072單元包括一個基底光刻基板和兩個彩色沈積層。基底底物是一層透明的氧化鐵錫（ITO）膜，帶有退火的氧化錫（ATO）/氧化鈦（TiO2）屏障層。這種基底被設計為提供均勻的覆蓋和低阻力的材料在上面的兩個色層的沈積使用。顏色沈積層采用兩種不同的蒸發工藝形成：利用金屬面罩的電阻蒸發工藝和利用半導體面罩的直接蒸發工藝。第一層是負色調光抗蝕劑，在電阻蒸發過程中使用單個光掩模進行陣列處理。該層被設計為導電模式，將作為第二沈積層中電致發光材料的導向。第二層由電致發光熒光材料組成，采用直接蒸發工藝沈積。這兩層的組合提供了既低電壓又低成本的高分辨率顯示。第二層磷光體材料的層厚度采用熱控沈積工藝控制。顯示器的分辨率也因使用亞微米分辨率的光掩碼而保持較高。HOE IE HIMJ-0072光刻機適合用於生產分辨率提高、成本低的電致發光顯示器。此工具設計為與現有流程兼容,非常適合以令人印象深刻的精確度生成高度詳細的模式。由於其低壓特性，該資產可用於必須將功耗保持在最低限度的應用中。