二手蝕刻機/ 光阻清洗機待售
蝕刻器,又稱ashers,是半導體工業中用於蝕刻過程的專用機器。蝕刻是指利用化學、物理或等離子體工藝以受控方式從半導體晶片表面去除材料。這是制造集成電路和其他微電子器件的重要步驟。蝕刻器用於在晶圓表面上繪制各種材料的薄膜圖案。它們可以移除這些薄膜的特定部分以創建所需的電路或結構。蝕刻過程包括將晶片暴露於反應性氣體或等離子體中,這些氣體或等離子體與暴露的區域有選擇地發生反應並去除材料。這允許在晶片上創建高度精確的特征。蝕刻器可根據其采用的蝕刻方法分為不同類型。濕蝕刻器使用液體化學物質溶解或蝕刻表面,而幹蝕刻器則使用等離子體轟擊表面並去除材料。灰燼特別指利用一種稱為等離子體灰化的蝕刻技術的幹蝕刻器。等離子體灰化用於去除光刻工藝中使用的光刻材料,用於IC制造過程中的圖樣。蝕刻器是一種高度復雜的機器,需要精確控制氣流、溫度、壓力和工藝時間。它們還需要確保操作人員的安全,並通過有效地含有和中和蝕刻過程中使用的化學品來保護環境。蝕刻技術的進步促進了半導體的小型化和功能的增強,使得能夠開發更小、更快、功能更強大的電子設備。
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