二手 ASM AB 339 #9299638 待售

由ASM International制造的ASM AB 339是一種自動晶片粘合設備，設計用於處理超薄晶片和其他易碎部件。該系統能夠處理厚度可達400 µm、面積可達160 x 160 mm的基片晶片。它可以配置為最多容納四個等離子體或氧化物鍵合室，這取決於具體的應用。ASM AB339具有先進的用戶界面,可為用戶提供流暢、直觀的操作。用戶可以輕松編程、存儲和召回流程配方。該單元還包括自動校準機和工藝控制軟件等功能，以提高產量率和工藝精度。AB 339配備了提供精確操作的運動工具。運動資產配置有用於基板處理的機器人臂和用於精確晶圓放置和對準的晶圓卡盤。該模型還具有對齊設備，以確保對齊精度和過程可重復性。該系統采用可靠的粘結晶片釋放裝置，有助於提高制造效率，同時大大降低汙染風險。該機器包括表面制備容器，為用戶提供一種有效和安全的方式來進行粘結晶片的粘結後清洗。該工具還配置了顆粒汙染監控器，為用戶提供有關環境顆粒含量的實時反饋。這使用戶能夠控制其工作環境的清潔度並提高產率。此外，AB339還包括一個感應耦合等離子體（ICP）資產，它為用戶提供了更高水平的過程可重復性。該模型包括一個雙頻ICP設備，以確保在不同晶圓厚度下的有效和可靠的鍵合。ASM AB 339旨在為用戶提供可靠、高效、準確的粘合過程。該系統能夠在各種環境中運行，能夠處理各種類型的基板。其先進的用戶界面允許用戶輕松編程、存儲和召回流程配方，而其運動單元則為用戶提供了準確、精確的操作。最後，其ICP系統為用戶提供了更高水平的過程重復性，而其顆粒汙染監測儀則確保了清潔度和提高了產率。