二手 ASM Cheetah II #293633714 待售

ASM獵豹II是為生產高性能、高可靠性的微電子器件和MEMS而設計的先進晶圓粘合設備。獵豹II為各種不同類型的晶片鍵合提供了前所未有的工藝控制和自動化水平，包括低溫晶片鍵合、激光熱壓縮鍵合和共晶鍵合。ASM獵豹II具有堅固可靠的設計,允許高產量的可靠可重復處理。獵豹II包括一個專用的粘合室，允許精確的溫度和壓力控制。該系統還包括一個高精度的定位器，允許精確控制對準和放置粘合晶片。ASM Cheetah II還具有高速晶圓分配單元,可提高吞吐量並減少晶圓處理中的錯誤。獵豹II可以執行多種不同的晶片鍵合過程，包括陽極鍵合、直接熔合鍵合和共晶鍵合。在陽極鍵合中，在晶片加熱時對其施加電場，使其鍵合在一起。直接聚變鍵合需要直接加熱晶片，從而產生局部熱梯度，迫使晶片在沒有塗層的情況下鍵合。共晶鍵合的方法是先用細焊料膜塗覆粘合劑區域，然後用激光熔化焊料。ASM獵豹II包括幾種可配置的流程設置,可用於根據特定的應用程序要求定制流程。該機器包括一個具有旋轉、平移和傾斜功能的多軸級，確保各種晶片類型的晶片精確對準和放置。獵豹II還具有先進的光學和熱控制功能，允許精確的熱和光學測量，以實現最大的工藝重復性。ASM獵豹II能夠產生超過1,000 N的粘合力，並在幾十個納米牛頓提供可重復性。該工具支持1.5 kW激光功率，能夠粘合厚度在200至1000 μ m之間的晶片。獵豹II還包含一個健壯的軟件套件，允許用戶對晶圓粘結序列進行編程，並存儲重復生產運行的工藝配方。ASM獵豹II專為低成本、高產量、可靠生產微電子和MEMS器件而設計。該資產提供了可重復的高精度晶片鍵合，從而提高了生產微電子和微電子設備的產量和質量。