二手 ASM Eagle 60 #9396305 待售
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ASM Eagle 60是一種自動化晶圓粘合器,旨在提供精確和可重復的結果。它利用先進的技術對半導體晶片進行精確對齊和連接,創造出單一的整體結構。Eagle 60具有XYZ萬向節舞臺,在晶圓間距和對準方面具有靈活性。其運動設備提供線性、圓形和掃描運動設置,以實現所需的精度和粘結參數。該系統還具有檢測晶圓變形並自動校正的能力。運動由ASM Eagle 60的Eddyvector®運動控制器控制,使單元能夠精確移動晶圓級,實現與每個鍵合循環的精確對準。鷹60包括一個先進的視覺機器,能夠捕捉晶片的圖像,以確保正確校準,可重復對準。視覺工具還包括高分辨率相機、廣域光學和自動對焦功能。這使得ASM Eagle 60能夠識別和識別晶圓陣列,這對於正確的對齊和粘合性能至關重要。Eagle 60具有在其主裝載站方便地將晶片加載到粘合器中的能力。它可以容納直徑可達300毫米的晶片,並且可以粘結厚度可達1.5mm的晶片。該資產提供了芯片對芯片、模具對晶圓、晶圓對晶圓等幾種鍵合工藝類型。它還提供了廣泛的鍵合方法,包括TAB鍵合、非接觸藍寶石鍵合和高電流鍵合。ASM Eagle 60還具有直觀的軟件,可以輕松定制和設置綁定參數。除此之外,它還包括循環數據記錄和統計過程控制(SPC),用於監視模型的輸出。這有助於確保每次設備達到裝配周期時,粘合器都能按預期運行,並且粘合符合規格標準。所有這些功能協同工作,為用戶提供可靠、準確的粘合解決方案。
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