二手 ASM Eagle 60XL #9302482 待售

ASM Eagle 60XL是一種聚焦離子束（FIB）鍵合工具，用於精確可靠的晶圓級鍵合。Eagle 60XL專為廣泛的金屬鍵合應用而設計，包括銅和鋁合金，以及各種半導體、光電和光機械裝置。這種FIB工具由四個主要組成部分組成：一個高真空室、一個氣體註入系統、一個帶電粒子束柱和一個拆卸/熔合平臺。真空室提供了一個沒有空氣和氣體分子的環境，帶電粒子束柱允許聚焦的離子束瞄準晶片並將它們結合在一起。氣體註入系統為環境增加了必要的惰性氣體，以控制光束的能量和速度，而去熔化/熔融平臺則允許金屬或半導體材料熔化並連接在一起。ASM Eagle 60XL為用戶提供了一系列精度高達1納米的粘合選項。它還提供了廣泛的溫度、壓力和氣體選項來優化過程。拆卸/熔合平臺設計為提供均勻的溫度剖面,並精確控制過程的溫度、壓力和持續時間。除了粘合金屬外，Eagle 60XL還提供了現場工藝監控、目標導向控制、自動熱循環、產量監控等一系列其他特性和功能。原位過程監控允許對鍵合參數進行精確控制，而面向目標的控件則允許用戶預設和驗證多個進程參數。ASM Eagle 60XL還提供了執行自動熱循環的能力,用於驗證過程可靠性。Eagle 60XL包含自動熱融合功能,可實現可靠的吞吐量和性能,而其自動產量監控功能可確保債券的質量最高。總體而言，ASM Eagle 60XL是一種先進的高精度FIB粘合工具，非常適合那些需要可靠和精確的晶圓級粘合的人。它提供了全方位的金屬結合，以及各種額外的特性和功能。高精度、自動化、過程監測、熱循環和產量監測的結合使Eagle 60XL可靠的金屬或半導體鍵合的理想選擇。