二手 BREWER SCIENCE 1300CSX #293656541 待售

BREWER SCIENCE 1300CSX是一種晶片粘合設備，用於矽片和其他基材的臨時粘合和去鍵。該系統有手動或自動兩種配置，兩者的設計都能提供高精度和一致的粘結質量。1300CSX采用自動晶片對準裝置，單軸精度± 10 µm。該機器能夠測量和補償晶片接觸時的弓和扭曲。這樣就不需要手動對準晶片,並提供可重復的對準精度。該工具還具有集成的流程監控資產,可提供有關溫度、力、對準和位移等變量的反饋。該模型采用高溫擴散粘結工藝設計，允許粘結溫度高達850 °C。這使得它適合於多種應用和材料，包括熱塑性塑料、玻璃薯條和金屬。它還配備了三維晶圓處理機構，允許將粘合的基板精確放置到卡盤上。BREWER SCIENCE 1300CSX配備了多種工藝工具，以提高精度和吞吐量。其中包括快速更換卡盤設備、自動化視覺系統、高級熱過程控制和動態物種控制。該單元設計用於每秒1晶圓的吞吐量，並具有多種預設配方，以簡化工藝開發。該機還提供多種安全措施，確保用戶和其他人員的安全和福祉，包括互鎖安全門工具、安全簾和氧氣監測儀。有許多數據輸出選項可用於流程控制、日誌記錄和流程優化。1300CSX非常適合於半導體和MEMS器件中大批量生產晶片粘結和去鍵應用。該資產易於使用,提供精確的過程控制,並提供可靠的過程結果。