二手 DAGE 4000 #9267276 待售

DAGE 4000是一種超精密晶圓鍵合器，旨在實現半導體元件的高效處理。憑借其獲得專利的「平滑移動」直接驅動級系統,4000提供了非常快速和精確的晶片對準,從而實現了一致和可靠的粘結質量。該粘合劑利用創新技術維持亞微米的配位，可容納直徑不超過6英寸的晶圓尺寸。DAGE 4000采用了最先進的高真空系統，能夠達到10-6 Torr，為理想的晶圓放置和粘合提供了可靠的環境。該加速器使用一微米可重復性階段和基於編碼器的反饋進行精確對齊，從而為每個晶片提供高精度和重復性。它還具有強大的結合頭與集成加熱器和Z軸運動為精確編程和控制。為提高精度和性能,4000提供了多種有用的增強功能,如圖像配準、自動表面粗糙度檢測和自動對焦。在溫度控制方面，粘合劑包括一種專有的熱壁真空卡盤，具有先進的熱管理功能，便於在整個晶片上均勻傳熱和均勻的粘合線溫度。機器的軟件接口支持本地和遠程操作，允許操作員和接合器之間的輕松通信。該軟件還包含各種有用的工具，以確保精度和一致的晶片到晶片的性能。界面提供晶圓放置算法的圖形視圖，以及對許多鍵合參數的參數控制，使微調易於優化過程。此外,DAGE 4000還配備了一系列伺服電機,可在粘合器的所有六個軸上實現全方位的運動操作。這允許復雜的表面輪廓,並且可以在不犧牲速度或精度的情況下最大化鍵線控制。電機還提供了可靠的動態反饋回路，以增強運動穩定性和熱管理。4000提供了卓越的特性組合,為各種半導體器件提供了卓越的粘結質量和增強的粘合能力。其先進的軟件和硬件使其成為任何期望持續高質量生產成果的半導體生產線的必備產品。