二手 EVG / EV GROUP 520 #293778696 待售
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ID: 293778696
優質的: 2005
Wafer bonder
Bonding process:
Anodic
Gold silicon
Aluminum silicon
Fusion
Maximum contact force: 3000 Newtons
Maximum temperature: 450°C
Accessories
2005 vintage.
EVGroup EVG/EV GROUP 520（EVG 520）是一種高性能、精密、真空輔助的鍵合器，設計用於復雜的MEMS、光電子和相關的微加工工藝。該粘合劑能夠同時精確定位和粘合多種基板，同時精確控制薄膜的沈積和微結構的排列。EV GROUP 520還使金屬、氧化物、聚合物等不同材料的連接成為了廣泛先進應用的理想選擇。520的精密力學、高精度控制設備和集成真空系統使其非常適合各種要求很高的應用。機器有一個大的工作包絡，允許粘合和組裝尺寸達200毫米、薄至20 µm的基板。集成的粘結壓力發生器允許最大程度的控制，減少了由於對齊力不當而造成斷裂和開裂的可能性。EVG/EV GROUP 520的定位精度在X和Y方向上是顯著的15 µm，在Z方向上不到2 µm，這是由於它的高度自動調節單元和基板的自動定心。此外,它還具有溫度控制級,可調節溫度範圍為0至400°C,進一步擴大了其多功能性。EVG 520由一個強大、易於使用的軟件包提供支持,該軟件包允許專業人員輕松控制和自動化機器。通過直觀的圖形用戶界面，用戶可以快速準確地編程復雜的刀具路徑和設置參數。還包括許多用戶友好的功能,例如活動監視機器、自動保存功能和遠程控制功能。總體而言，EV GROUP 520是一種先進的多功能接合器，旨在在要求最苛刻的微加工和光電工藝中提供最高精度和準確性。它能夠精確、統一地粘結材料，其高效、易於使用的軟件使其成為廣泛工業和研究應用的強大工具。
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