二手 EVG / EV GROUP EV 560 #9239813 待售
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EVG/EV GROUP EV 560是一種用於生產微電子器件的全自動晶圓鍵合設備。它為所有粘結應用提供了單一的集成解決方案,如超精細螺距、精細螺距、高密度和高可靠性。該系統提供了一系列的過程，包括熱聲、熱極和共晶鍵。該單元包括一個集成晶圓監測和計量機器，在鍵合操作時提供反饋。EVG EV 560設計有一個多級處理室和最多三個機器人處理程序，用於底物的加載和對準。該腔室利用高性能等離子體源進行蝕刻工藝，並利用紫外線激光進行切割和燒蝕。此外,該工具還包含晶圓掃描資產,用於精確糾錯和優化生產過程控制。它支持各種溫度控制選項,以確保所有粘結操作均符合質量和吞吐量的最高標準。該模型還支持基於圖形的軟件環境，為編程、應用程序開發和統計過程控制提供工具。此外,它還提供全面的數據記錄、分析和報告功能。設備配置易於擴展,使客戶能夠根據不斷變化的工藝要求和制造條件擴展生產。EVG/EV組EV組EV 560能夠處理直徑達300 mm的基板，使其適合所有主要晶圓尺寸。它也與一系列晶圓材料相容，如矽、砷、磷、藍寶石等。該系統采用先進的加熱支撐裝置，提高了粘結精度和收率。它還提供了一個可選的加熱肩機，它結合了旋轉的機動化階段，以提高循環時間，準確性和可重復性。EV 560在各種晶圓鍵合應用中提供可靠且可重復的操作，使其成為生產和研究環境的理想選擇。它的模塊化設計和靈活的平臺確保了與現有和未來生產需求的兼容性,使其成為半導體制造商在前沿工作的絕佳解決方案。
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