二手 F&K DELVOTEC 6200 #293760943 待售

F&K DELVOTEC 6200是一種用於互連應用的先進粘合設備。它是一個功能齊全的沈積系統，用於各種過程，從電子束蒸發（EBE）、濺射沈積、化學束沈積、物理氣相沈積（PVD）和共晶鍵合技術。此多流程單元提供了一系列功能,包括：通過自動配方驅動的軟件和直觀的圖形用戶界面快速輕松地操作。可調工藝參數,包括薄膜厚度,沈積速率,加熱和配方設置.控制沈積速度和預熱功能精確控制沈積速度和溫度,以保持膜的質量和均勻性。可變等離子體蝕刻選項,包括工藝設置和軟件定制集成傳感器可配置機器設計,以滿足客戶特定的工藝/應用要求。6200提供了強大而簡單的工藝配方,可節省時間並提高工藝結果的可重復性。2D路徑開發工具使用戶能夠自定義、開發和存儲沈積過程配方。該工具可以配置各種源、工藝氣體、腔室和排氣接口選項，以適應客戶的應用。不銹鋼室提供的高水平真空控制和集成閉環水冷資產大大減少了工藝誤差，使薄膜質量可靠。高功率的平面磁控管濺射器可以處理多種材料，使復雜結構的塗層在一個單一的過程中。EBE和濺射源中的獨立熱控制器提高了沈積均勻性和片對片的可重復性。F&K DELVOTEC 6200還具有多種集成工藝掃描儀，包括渦流、超聲波和內外膜厚度測量探針。這些自動傳感器為用戶提供了自動過程反饋,方便了錯誤診斷和糾正。該模型設計為最大限度地提高吞吐量,具有超快的裝卸功能,可輕松與自動化物料處理系統集成。先進的自動化功能、過程控制和反饋、質量控制選項和集成的安全功能使6200成為市場上最好的紐帶之一。適用於各種應用，提供了更好的吞吐量、統一性、可重復性和質量。通過將高沈積速率和過程柔韌性相結合，實現了高沈積速率，具有優異的表面光潔度和基板附著力。